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半导体相关行业气体在线分析
方案概述
根据需要选择合适的测量原理：TDLAS/质谱/FTIR，IMS,CRDS、紫外荧光，紫外光度、GC-FID/GC-PID、GC-MS及ECD,电化学，NDIR，电导率等
可选多种仪器形态与安装方式：抽取式及便携式，以非防爆为主。
系统及组成
- 相关行业：半导体制造、芯片生产等
- 测量目的：品质控制、生产安全、节能、降耗等
- 难点痛点：气体浓度超低或超纯，对仪器检测器或高起点要求高，部分气体的毒性及腐蚀性，新兴热门行业
- 特殊要求：技术门槛高，业绩，品质要求高
主要功能
测量参数
O2(痕量)：（0-1-10）PPM
O3:（0-200）PPM
H2O：（0-1）PPM
VOCS:（0-1）PPM
HF:（0-1）PPM
HCL:（0-4）PPM
NH3:（0-4）PPM
NF3:0-40PPM-2000PPM
H2S/SO2:0-50PPB
TOC/CO2:0-5PPM
颗粒物:小于ug/M3
电导率:0-10us/CM以下
PH₃、AsH₃、BF₃等报警器
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