FRn03P 气体流量传感器
产品详情
产品优势
产品应用
技术指标
| 参数 | 参数 | 参数 | |
流量测量 | 最大流量 |
50/100/200/300/400/500 1000/2000/3000/4000/5000 | SCCM |
测量精度 | ±（2+0.5FS） | % | |
重复性 | （0.5+0.15FS） | % | |
最大工作压力 | 200 | kPa | |
最大流量压损 | ≤1000 | Pa | |
工作温度 | 0～50 | ℃ | |
输出信号 | 输出方式 | 数字 I²C 和模拟 0.5V～4.5VDC | |
I²C 通讯速率 | 100 | kHz | |
信号响应时间 | ≤200 | ms | |
电气参数 | 工作电压 | 5～15 | VDC |
工作电流 | ≤30 | mA | |
电气接口 |
PH2.0-5P 插接式连接器 或 2.54-5P 插针式连接器 | ||
其他 | 储存温度 | -20℃～65℃ | |
测量介质 | 干燥洁净的非腐蚀性气体 |
产品尺寸
技术指标
| 参数 | 参数 | 参数 | |
流量测量 | 最大流量 |
50/100/200/300/400/500 1000/2000/3000/4000/5000 | SCCM |
测量精度 | ±（2+0.5FS） | % | |
重复性 | （0.5+0.15FS） | % | |
最大工作压力 | 200 | kPa | |
最大流量压损 | ≤1000 | Pa | |
工作温度 | 0～50 | ℃ | |
输出信号 | 输出方式 | 数字 I²C 和模拟 0.5V～4.5VDC | |
I²C 通讯速率 | 100 | kHz | |
信号响应时间 | ≤200 | ms | |
电气参数 | 工作电压 | 5～15 | VDC |
工作电流 | ≤30 | mA | |
电气接口 |
PH2.0-5P 插接式连接器 或 2.54-5P 插针式连接器 | ||
其他 | 储存温度 | -20℃～65℃ | |
测量介质 | 干燥洁净的非腐蚀性气体 |
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