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FRn03H 气体流量传感器
产品详情
FRn03H 系列微流量气体质量流量传感器是专门针对各类微流量过程控制设计的。本产品基于 FR03H 升级，产品零点稳定性和全量程信号稳定性显著提高，广泛用于各类气体测量，成本低、易安装、低压损，可替代传统流量传感器。
产品优势
传感器灵敏度高，具有极低始动流量
多种信号输出
全量程高稳定性、和高重复性
产品应用
广泛用于各类气体测量，成本低、易安装、低压损，可替代传统流量传感器。
技术指标
参数 | 数值 | 单位 | |
流量测量 | 最大流量 | 50/100/200/300/400/500 1000/2000 | SCCM |
测量精度 | ±（2+0.5FS） | % | |
重复性 | 0.5 | % | |
最大工作压力 | 200 | kPa | |
最大流量压损 | ≤150 | Pa | |
工作温度 | 0～50 | ℃ | |
输出信号 | 输出方式 | 数字 I²C 和模拟 0.5V～4.5VDC | |
I²C 通讯速率 | 100 | kHz | |
信号响应时间 | ≤50 | ms | |
电气参数 | 工作电压 | 5～15 | VDC |
工作电流 | ≤30 | mA | |
电气接口 | PH2.0-5P 插接式连接器 或 2.54-5pin 插针可选 | ||
其他 | 储存温度 | -20℃～65℃ | |
测量介质 | 干燥洁净的非腐蚀性气体 | ||
机械接口 | 可拆式软管接头 |
产品尺寸
技术指标
参数 | 数值 | 单位 | |
流量测量 | 最大流量 | 50/100/200/300/400/500 1000/2000 | SCCM |
测量精度 | ±（2+0.5FS） | % | |
重复性 | 0.5 | % | |
最大工作压力 | 200 | kPa | |
最大流量压损 | ≤150 | Pa | |
工作温度 | 0～50 | ℃ | |
输出信号 | 输出方式 | 数字 I²C 和模拟 0.5V～4.5VDC | |
I²C 通讯速率 | 100 | kHz | |
信号响应时间 | ≤50 | ms | |
电气参数 | 工作电压 | 5～15 | VDC |
工作电流 | ≤30 | mA | |
电气接口 | PH2.0-5P 插接式连接器 或 2.54-5pin 插针可选 | ||
其他 | 储存温度 | -20℃～65℃ | |
测量介质 | 干燥洁净的非腐蚀性气体 | ||
机械接口 | 可拆式软管接头 |
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