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MEMS热导探测器 METTC301(QFN)
产品详情
产品优势
产品应用
●物理传感无化学反应（基于气体热导率）
●测量范围大（100ppm~100%, 基于应用和气体的热导率）
●体积小，响应快，精度高
●超小气体容量测量
●可靠度高，能耗低（可以脉冲方式工作）
技术指标
| 型号 | 封装规格 | 备注 | |||
| METTC300S | QFN5*5，开孔通气 | 测量 | |||
| METTC300SR | QFN5*5，无孔 | 补偿（可选） | |||
性能参数(温度 25℃） | |||||
| 参数 | 符号 | 最小值 | 典型值 | 最大值 | 单位 |
| 基本特性 | |||||
| 加热电阻 | Rh | 170（TBD） | Ω | ||
| 电阻温度系数 | αh | 5500 | ppm/K | ||
| 测温热电堆 | Rtp | 11（TBD） | KΩ | ||
| 电阻温度系数 | αtp | ppm/K | |||
| 加热电流 | Imax(Rh） | 5 | mA | ||
注：作为真空测量使用时，需要降低加热电流 | |||||
| 推荐工作条件 | |||||
| 加热电流 | I(Rh） | 4.5~5.5 | mA | ||
| 工作温度 | Ta | -40~85 | ℃ | ||
| 湿度 | Hum | 0～100%，无冷凝 | RH | ||
| 寿命 | MTBF | 100,000 | H | ||
存储条件 | |||||
| 温度 | Ta | -40~85 | ℃ | ||
| 湿度 | Hum | 0～100%，无冷凝 | RH | ||
| 防尘 | 防尘 | ||||
技术指标
| 型号 | 封装规格 | 备注 | |||
| METTC300S | QFN5*5，开孔通气 | 测量 | |||
| METTC300SR | QFN5*5，无孔 | 补偿（可选） | |||
性能参数(温度 25℃） | |||||
| 参数 | 符号 | 最小值 | 典型值 | 最大值 | 单位 |
| 基本特性 | |||||
| 加热电阻 | Rh | 170（TBD） | Ω | ||
| 电阻温度系数 | αh | 5500 | ppm/K | ||
| 测温热电堆 | Rtp | 11（TBD） | KΩ | ||
| 电阻温度系数 | αtp | ppm/K | |||
| 加热电流 | Imax(Rh） | 5 | mA | ||
注：作为真空测量使用时，需要降低加热电流 | |||||
| 推荐工作条件 | |||||
| 加热电流 | I(Rh） | 4.5~5.5 | mA | ||
| 工作温度 | Ta | -40~85 | ℃ | ||
| 湿度 | Hum | 0～100%，无冷凝 | RH | ||
| 寿命 | MTBF | 100,000 | H | ||
存储条件 | |||||
| 温度 | Ta | -40~85 | ℃ | ||
| 湿度 | Hum | 0～100%，无冷凝 | RH | ||
| 防尘 | 防尘 | ||||
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