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MEMS热导探测器 METTC301（TO46）

产品详情

METTC301系列热导式气体传感器使用“电阻-热电堆”式MEMS 热导芯片，电阻是加热器，热电堆测量热导薄膜温度。本热导传感器本质是测量环境与膜中心的热导率，这取决于几个参数：如绝对压力、气体类型和气体混合物成分、热导膜设计等。本热导传感器采用TO46、TO5金属外壳、或QFN 3.8*3.8封装。MEMS热导气体传感器可基于被测组份气体和参考气体不同的热导系数，通过与后级简单的电路相结合，可以实现超低功耗、长寿命和无需维护的 OEM 气体探测。可以测量空气中二元或三元气体混合物或准二元混合物的气体浓度，同时，也可以应用于基于 Pirani 原理（皮拉尼原理）的微型压力/真空计。本热导传感器可以单独使用，也可以与补偿热导传感器配对组合使用，实现更精确的测量。

产品优势

●物理传感无化学反应（基于气体热导率）
●测量范围大（100ppm~100%, 基于应用和气体的热导率）
●体积小，响应快，精度高
●超小气体容量测量
●可靠度高，能耗低（可以脉冲方式工作）

产品应用

●基于二元混合物或准二元混合物气体中热导率来测量目标气体浓度（如：空气中的H2、He、Xe、CO2、CH4等）
●检测制冷剂气体，如氟利昂（R-22）、CFC 或 CF3CH2F 氟乙烷（R-134 或 R-404）等，用于冷却系统泄漏监测
●天然气（CH4）发动机或氢（H2）发动机全电池、制冷剂监测
●安全（火灾报警、CO2监测、H2爆炸性气体监测）
●园艺、食品储存CO2 浓度的监测
●微型皮拉尼真空计、微型真空装置（10m~10kPa）

技术指标

型号	封装规格			备注
METTC301-TM	TO46，Ф2.5开孔通气			测量
METTC301-TR	TO46，无孔			补偿（可选）
METTC301-T5M	TO5，Ф5.0开孔通气			压力（可选）
性能参数(温度 25℃）
参数	符号	最小值	典型值	最大值	单位
基本特性
加热电阻	R_h		170（TBD）		Ω
电阻温度系数	α_h		5500		ppm/K
测温热电堆	R_tp		11（TBD）		KΩ
电阻温度系数	α_tp				ppm/K
加热电流	Imax_(Rh_）		5		mA
注：作为真空测量使用时，需要降低加热电流
推荐工作条件
加热电流	I_(Rh_）	4.5~5.5			mA
工作温度	Ta	-40~85			℃
湿度	Hum	0～100%，无冷凝			RH
寿命	MTBF	100,000			H
存储条件
温度	Ta	-40~85			℃
湿度	Hum	0～100%，无冷凝			RH
防尘		防尘

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技术指标

型号	封装规格			备注
METTC301-TM	TO46，Ф2.5开孔通气			测量
METTC301-TR	TO46，无孔			补偿（可选）
METTC301-T5M	TO5，Ф5.0开孔通气			压力（可选）
性能参数(温度 25℃）
参数	符号	最小值	典型值	最大值	单位
基本特性
加热电阻	R_h		170（TBD）		Ω
电阻温度系数	α_h		5500		ppm/K
测温热电堆	R_tp		11（TBD）		KΩ
电阻温度系数	α_tp				ppm/K
加热电流	Imax_(Rh_）		5		mA
注：作为真空测量使用时，需要降低加热电流
推荐工作条件
加热电流	I_(Rh_）	4.5~5.5			mA
工作温度	Ta	-40~85			℃
湿度	Hum	0～100%，无冷凝			RH
寿命	MTBF	100,000			H
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温度	Ta	-40~85			℃
湿度	Hum	0～100%，无冷凝			RH
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