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MEMS热导探测器 METTC300S（QNF）
产品详情
METTC300系列热导式气体传感器使用两对对称“电阻-电阻”一体式MEMS 热导芯片，采用TO5金属外壳、或QFN 5*5封装。MEMS热导气体传感器基于被测组份气体和参考气体不同的热导系数，通过与后级简单的电路（如：惠更斯桥式等）相结合，可以实现超低功耗、长寿命和无需维护的 OEM 气体探测。
可以测量空气中二元或三元气体混合物或准二元混合物的气体浓度，例如：空气中具有较低导热率的气体（如二氧化碳、氩气或氟利昂），或具有较高导热率的气体（如氢气、氦气或甲烷）。
同时，也可以应用于基于 Pirani 原理（皮拉尼原理）的微型压力/真空计。
产品优势
●物理传感无化学反应（基于气体热导率）
●测量范围大（100ppm~100%, 基于应用和气体的热导率）
●体积小，响应快，精度高
●集成温度补偿，漂移小
●超小气体容量测量
●可靠度高，能耗低（可以脉冲方式工作）
产品应用
●基于二元混合物或准二元混合物气体中热导率来测量目标气体浓度（如：空气中的H2、He、Xe、CO2、CH4等）
●检测制冷剂气体，如氟利昂（R-22）、CFC 或 CF3CH2F 氟乙烷（R-134 或 R-404）等，用于冷却系统泄漏监测
●天然气（CH4）发动机或氢（H2）发动机全电池、制冷剂监测
●安全（火灾报警、CO2监测、H2爆炸性气体监测）
●园艺、食品储存CO2 浓度的监测
●微型皮拉尼真空计、微型真空装置
技术指标
| 型号 | 封装规格 | 备注 | |||
| METTC300S | QFN5*5，开孔通气 | 测量 | |||
| METTC300SR | QFN5*5，无孔 | 补偿（可选） | |||
性能参数(温度 25℃） | |||||
| 参数 | 符号 | 最小值 | 典型值 | 最大值 | 单位 |
| 基本特性 | |||||
| 测量电阻 | Rm1、Rm2 | 130 | 155（TBD） | 180 | Ω |
| 参考电阻 | Rt1、Rt2 | 240 | 285（TBD） | 330 | Ω |
| 比值 | (Rt1+Rt2)/(Rm1+Rm2） | 1.8（TBD） | / | ||
| 电阻温度系数 | α | 4500 | 5000 | 5500 | ppm/K |
| 加热电流 | Imax(Rm1与Rm2） | 5 | mA | ||
推荐工作条件 | |||||
| 加热电流 | I(Rm1与Rm2） | 4.5~5.5 | mA | ||
| 工作温度 | Ta | -40~85 | ℃ | ||
| 湿度 | Hum | 0～100%，无冷凝 | RH | ||
| 寿命 | MTBF | 50,000 | H | ||
存储条件 | |||||
| 温度 | Ta | -40~85 | ℃ | ||
| 湿度 | Hum | 0～100%，无冷凝 | RH | ||
| 防尘 | 防尘 | ||||
技术指标
| 型号 | 封装规格 | 备注 | |||
| METTC300S | QFN5*5，开孔通气 | 测量 | |||
| METTC300SR | QFN5*5，无孔 | 补偿（可选） | |||
性能参数(温度 25℃） | |||||
| 参数 | 符号 | 最小值 | 典型值 | 最大值 | 单位 |
| 基本特性 | |||||
| 测量电阻 | Rm1、Rm2 | 130 | 155（TBD） | 180 | Ω |
| 参考电阻 | Rt1、Rt2 | 240 | 285（TBD） | 330 | Ω |
| 比值 | (Rt1+Rt2)/(Rm1+Rm2） | 1.8（TBD） | / | ||
| 电阻温度系数 | α | 4500 | 5000 | 5500 | ppm/K |
| 加热电流 | Imax(Rm1与Rm2） | 5 | mA | ||
推荐工作条件 | |||||
| 加热电流 | I(Rm1与Rm2） | 4.5~5.5 | mA | ||
| 工作温度 | Ta | -40~85 | ℃ | ||
| 湿度 | Hum | 0～100%，无冷凝 | RH | ||
| 寿命 | MTBF | 50,000 | H | ||
存储条件 | |||||
| 温度 | Ta | -40~85 | ℃ | ||
| 湿度 | Hum | 0～100%，无冷凝 | RH | ||
| 防尘 | 防尘 | ||||
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