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“揪出”气体泄漏!汉威科技打造半导体行业“安全卫士”

日期:2025.06.20

来源:

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气体安全 半导体行业的重要一环

电子气体是半导体制造过程中不可或缺的基础材料,品类多达上百种,成本约占芯片总成本的13%,被誉为“芯片血液”。

电子气体多为易燃易爆、有毒有害、腐蚀性、窒息性气体,一旦发生泄漏,哪怕是非常微小的泄漏,也可能引起爆炸、人员窒息或中毒事故。

气体安全是半导体行业高质量发展的重要一环。《特种气体系统工程技术标准》(GB50646-2020)中有强制性规定,在储存、输送、使用特种气体的区域或场所,如气瓶柜和阀门箱的排风管口处、废气处理装置排风出管口处、惰性气体车间等,应设置特种气体探测装置 

02

高性能传感加持

半导体行业专用气体检测

汉威科技集团推出的半导体工厂气体检测仪GD-HS10,是一款专门用于检测半导体工厂中可燃、有毒、有害气体泄漏的高端自研产品,具有高灵敏度、高可靠性、低浓度检测等特点,可检测氨气、砷化氢、氯气、硅烷等上百种气体,适用于半导体、液晶面板、光伏和电池制造等行业。 

广泛覆盖 支持上百种气体检测

支持电化学、催化、光学等多种原理的气体传感器,可检测上百种气体,支持个性化定制。

使用方便 传感器模组即插即用

传感器采用模块化设计,即插即用,更换、维护更方便灵活。

性能领先 超远距离高精度检测

进气管长达30米,可进行超远距离检测;每种气体均采用对应温度补偿及融合算法,可实现ppm级高精度精准检测。

直观显示 点阵式大屏一目了然

点阵式LCD大屏显示界面美观易读,气体名称、浓度、报警情况等一目了然,适合国内用户习惯。

 

目前,汉威科技集团的半导体工厂气体检测仪GD-HS10已经成功应用于多家半导体制造工厂,并获得用户的一致认可。


 结语

半导体行业是关乎国家安全和科技竞争力的战略性先导产业,气体安全是行业高质量发展的重要一环。作为气体传感器与安全仪表领域的领军企业,汉威科技集团将以高端自研产品护航半导体行业发展。